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        真空配件知識——真空系統的抽氣方程

        2019-11-19 10:21:00

        真空系統的任務是清除真空容器內的各種氣體。我們可以把抽運容器中產生的各種氣體的流量稱為真空系統的氣體負荷。那么真空系統的氣體負荷是什么呢?或者真空室里的氣源是什么?下面就讓昕徠真空公司為您簡述一下:

        1、抽運容器內的原始空間大氣,如果容器容積為vm3,抽運氣體的初始壓力為PopA,則容器內的原始空氣體積為vp0pa·m3;

        2、抽真空容器被抽空氣體,暴露在真空下的各種材料和元件的表面將會在大氣壓下原本吸收和吸收的氣體。這部分氣源稱為氣體排放,單位時間的氣體流量可以用QFPA·m3 / S表示

        3、空氣通過容器壁結構材料進入真空室的氣體流量,表示為qspa·m3 / s,所滲透的氣體流量是大氣通過容器壁結構材料擴散到容器內的氣體流量。這種氣體滲透具有選擇性。例如,氫只有在分離成原子時才能穿透鈀、鐵、鎳和鋁。隨著鋼中碳含量的增加,氫對鋼的滲透作用增大。氦分子可以通過玻璃。氫、氮、氧、氬、氖、氦可以通過透明石英。所有氣體都能通過有機聚合物,如橡膠、塑料等。但是所有的氣體都不能通過金屬。

        4、液體或固體蒸發的氣體流量qzpa·m3 / s,過程中空氣或液體中的水分在真空下蒸發,這是低真空范圍內的常見現象。在高真空條件下,特別是在高溫裝置中,固體和液體都有一定的飽和蒸汽壓。當溫度固定時,材料的飽和蒸汽壓固定,因此蒸發氣體流量是恒定的。

        5、漏風流量qlpa·m3 / s通過各種真空密封與各種漏風通道的連接進入真空室。對于某一真空裝置,泄漏流量QL為常數。泄漏流量可以通過壓力上升速率來計算,即單位時間內容裝置(28)中的壓力增長率PX。

        本公司的真空波紋管適用于各種低真空、高真空環境的管路連接,利用波紋管能伸縮的特性來吸收特定的管件變位,用于連接真空泵的波紋管也可減緩真空泵運作時對設備所產生的震動影響。

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